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      漲知識!PECVD系統工藝干貨分享
      發布時間:2022-05-12 點擊量:88
         PECVD系統技術是在低氣壓下,利用低溫等離子體在工藝腔體的陰極上(即樣品放置的托盤)產生輝光放電,利用輝光放電(或另加發熱體)使樣品升溫到預定的溫度,然后通入適量的工藝氣體,這些氣體經一系列化學反應和等離子體反應,最終在樣品表面形成固態薄膜。
        
        在反應過程中,反應氣體從進氣口進入爐腔,逐漸擴散至樣品表面,在射頻源激發的電場作用下,反應氣體分解成電子、離子和活性基團等。這些分解物發生化學反應,生成形成膜的初始成分和副反應物,這些生成物以化學鍵的形式吸附到樣品表面,生成固態膜的晶核,晶核逐漸生長成島狀物,島狀物繼續生長成連續的薄膜。在薄膜生長過程中,各種副產物從膜的表面逐漸脫離,在真空泵的作用下從出口排出。
        
        主要用途:
        高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備,生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復合薄膜等,也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用。
        
        PECVD系統工藝中由于等離子體中高速運動的電子撞擊到中性的反應氣體分子,就會使中性反應氣體分子變成碎片或處于激活的狀態容易發生反應;借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜;具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質量好、針孔較少、不易龜裂等優點;
        
        PECVD小型滑動開啟式管式爐系統通過滑動爐體來實現快速的升降溫,配置不同的真空系統來達到理想的真空度;同時通過多路高精度質量流量計控制不同氣體。是實驗室生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復合薄膜等的理想選擇。
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