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      快速退火爐的主要功能和特點
      發布時間:2022-05-23 點擊量:87
         快速退火爐是一個簡單穩定的熱處理系統,采用進口紅外線加熱管加熱,造型新穎結構合理,爐體和爐管可以自由滑動,可實現快速升降溫。爐管內尺寸130MM,可以直接放下5英寸的材料。試樣反應區處在一個密閉的石英腔體內,在完成生產工藝的同時,也大大降低了間接污染試樣的可能性。
        
        主要功能和特點:
        1、可視化7寸觸摸屏,設定數據和操作都是圖文界面,操作方便;
        2、爐體配備高精度移動平臺,運行平穩無抖動;
        3、爐管可自由移動,且密封法蘭之間用搭扣壓緊連接,放、取物料方便快捷,避免了螺栓密封人為操作導致漏氣的可能;減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能;當爐管移出爐膛時冷確風扇啟動,可實現試樣的迅速降溫,滿足材料驟冷驟熱的實驗要求;
        4、爐膛采用進口多晶纖維真空吸附制成,采用進口紅外線加熱管加熱,使用壽命可達5000小時,升溫速度快,最高溫度可達1050℃。
        5、預留了真空、氣路快速接口,可配合我司真空系統、混氣系統使用;
        6、預留了485轉換接口,可通過我司專用軟件,與計算機互聯,可實現單臺或者多臺電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能;
        7、設置超溫報警并斷電,漏電保護,操作安全可靠。
        
        快速退火爐應用領域:
        1、離子注入/接觸退火;
        2、快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN);
        3、可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環境下使用;
        4、SiAu,SiAl,SiMo合金化;
        5、低介電材料;
        6、晶體化,致密化;
        7、太陽能電池片鍵合。
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